采用微电子加工技术(MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作 两个形状、尺寸、材质完全一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。 单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁 因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加。
两频率之差信号直接送到CPU进行数据处理,然后 (1)经D/A转换成4-20mA输出信号,通讯时叠加Brain或Hart数字信号; (2)直接输出符合现场总线(Fieldbus Foundation TM)标准的数字信号。
2、优异的性能
静压影响忽略不计
当加有静压(工作压力)时,两形状、尺寸、材质完全一致的谐振梁形变相同, 故频率变化也一致,故偏差自动清除(公式和图类似温度影响)。
单向过压特性优异
接液膜片与膜盒本体采用独创的波纹加工技术,使外部压力增大到某一数值时, 接液膜片能与本体完全接触,硅油传递给传感器的压力不再随外力的增加而增 加,从而达到对传感器的保护作用。